ジャパンマテリアル、TSMC米工場にガス供給へ
半導体工場に特殊ガスを供給しているジャパンマテリアルは、台湾積体電路製造(TSMC)が米アリゾナ州に建設中の工場にガスを供給する。田中久男社長が日本経済新聞の取材で明らかにした。「日本のメーカーが製造したガスを米国に輸出する」という。
半導体工場では製造装置に付着するシリコンを処理する三フッ化窒素(NF3)など特殊ガスが使われている。Jマテリアルは半導体工場へのガスの供給機器の設置を手掛け、稼働...
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半導体工場に特殊ガスを供給しているジャパンマテリアルは、台湾積体電路製造(TSMC)が米アリゾナ州に建設中の工場にガスを供給する。田中久男社長が日本経済新聞の取材で明らかにした。「日本のメーカーが製造したガスを米国に輸出する」という。
半導体工場では製造装置に付着するシリコンを処理する三フッ化窒素(NF3)など特殊ガスが使われている。Jマテリアルは半導体工場へのガスの供給機器の設置を手掛け、稼働...
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